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半導(dǎo)體工業(yè)晶圓切割刀精加工解決方案!
發(fā)布時(shí)間:2022-08-17 點(diǎn)擊數(shù):2242

晶片是制造半導(dǎo)體器件的基本原料。高純度的半導(dǎo)體材料通過(guò)拉動(dòng)晶體、切片和其他工藝制成晶片。晶片通過(guò)一系列的半導(dǎo)體制造和生產(chǎn)工藝生產(chǎn)小的控制電路結(jié)構(gòu),然后切割、包裝和測(cè)試成芯片,廣泛應(yīng)用于各種電子儀器中。

通常,圓形倒角和圓形邊緣采用曲線(xiàn)切割或內(nèi)圓切割鋸片,切割晶片的外緣特別鋒利。為了防止角落破裂影響晶圓的硬度,或損害表面光滑度帶來(lái)環(huán)境污染的后續(xù)過(guò)程,有必要使用一個(gè)特殊的數(shù)控設(shè)備自動(dòng)糾正晶圓的邊緣,形狀和外徑尺寸,所以切割刀直接影響成品的質(zhì)量。

一、晶圓切割刀

首先,通過(guò)硬質(zhì)合金刀具粗加工生產(chǎn)晶圓切割刀,然后通過(guò)硬質(zhì)合金刀具粗加工PCD刀片經(jīng)過(guò)半精加工,最后使用MKD車(chē)刀精加工,尺寸精度和表面光潔度,車(chē)刀精加工。


晶圓劃片刀


二、MKD車(chē)刀精加工

單晶(MKD)切割性能更加穩(wěn)定,提高了切割工具包裝后基板的切割質(zhì)量和切割精度,大大提高了生產(chǎn)能力,為用戶(hù)定制了工藝和項(xiàng)目需求。

三、單晶刀

單晶工具在超精密加工中具有許多優(yōu)點(diǎn),在超精密加工中具有較高的硬度和耐磨性,可以在很大程度上避免尖端磨損對(duì)工件尺寸的影響。此外,良好的導(dǎo)熱性和良好的導(dǎo)熱性和較低的熱膨脹系數(shù)不會(huì)產(chǎn)生很大的熱變形。單晶工具葉片表面粗糙度小,葉片非常鋒利,可以實(shí)現(xiàn)Ra0.01-0.006μm,單晶切削余量小于0.02mm

 


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